池田屋HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)

池田屋HORIBA堀場 晶圓背面壓力控制系統(tǒng)

 對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微小壓力控制，還可以進行流量測量。

業(yè)務(wù)部門：半導體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd. 通過使用經(jīng)過驗證的電容式壓力傳感器，可以在低壓下進行精確的壓力控制。

壓力控制期間高精度監(jiān)控氣體流量。

 對氦氣和氬氣等導熱氣體進行穩(wěn)定且高精度的壓力控制，這對于控制晶圓背面的溫度至關(guān)重要。配備高速、高分辨率壓電閥和質(zhì)量流量傳感器，不僅可以精確穩(wěn)定地進行微壓差控制，還可以進行流量測量。

業(yè)務(wù)部門：半導體

產(chǎn)品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

 供貨精準穩(wěn)定

配備質(zhì)量

流量傳感器配備質(zhì)量流量控制器中廣泛使用的質(zhì)量流量傳感器，可以以與原料氣體供應(yīng)過程相同的精度監(jiān)控實際流量。

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸

與質(zhì)量流量控制器相同的尺寸和配件兼容，因此可以進行類似的設(shè)計和構(gòu)造。

符合RoHS指令

  這是一款配備數(shù)字控制電路的自動壓力調(diào)節(jié)器，該電路使用高精度壓力傳感器和高分辨率、高速響應(yīng)壓電閥。

采用全金屬結(jié)構(gòu)（氣體接觸部分）和無死體積結(jié)構(gòu)，可對腐蝕性氣體和低蒸氣壓氣體進行穩(wěn)定的壓力控制。它可以使用外部信號進行遠程控制，非常適合安裝在需要全面氣體控制的系統(tǒng)中，例如需要全面性能評估的氣體傳感器和耐壓評估系統(tǒng)。