DIC防靜電裝置1AC-P201

一、產(chǎn)品概述

DIC防靜電裝置1AC-P201是專為超純水環(huán)境設(shè)計(jì)的靜電控制解決方案，采用日本DIC公司的中空纖維透氣膜技術(shù)，通過(guò)二氧化碳?xì)怏w注入實(shí)現(xiàn)電阻率動(dòng)態(tài)調(diào)控。該裝置有效防止靜電吸附導(dǎo)致的微粒污染，特別適用于半導(dǎo)體晶圓清洗、光罩維護(hù)等對(duì)潔凈度要求的工業(yè)場(chǎng)景。其柜式結(jié)構(gòu)整合氣瓶存儲(chǔ)與傳感器監(jiān)測(cè)，支持直接連接用水點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)全流程自動(dòng)化控制。

二、核心特性

1. 超純水電阻率調(diào)控
   通過(guò)中空纖維膜精準(zhǔn)釋放CO?氣體，將超純水電阻率穩(wěn)定控制在18.2 MΩ·cm以上，消除靜電引發(fā)的微粒二次附著問題。

2. 模塊化設(shè)計(jì)
   集成雙氣瓶柜體與電阻率傳感器，支持5-30 L/min流量范圍，滿足連續(xù)作業(yè)需求。

3. 環(huán)境適應(yīng)性
   防護(hù)等級(jí)IP65，可在-10℃至50℃環(huán)境溫度下穩(wěn)定運(yùn)行，適應(yīng)潮濕、粉塵等嚴(yán)苛工況。

4. 安全防護(hù)機(jī)制
   內(nèi)置過(guò)壓保護(hù)與氣路自檢功能，異常時(shí)自動(dòng)切斷氣源并觸發(fā)聲光報(bào)警。

三、技術(shù)參數(shù)

四、結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

• 雙氣瓶柜體：采用304不銹鋼框架，單柜可容納2個(gè)標(biāo)準(zhǔn)CO?氣瓶（容積10L），配備壓力表與截止閥。

• 智能監(jiān)測(cè)模塊：集成電阻率傳感器與流量計(jì)，數(shù)據(jù)通過(guò)4-20mA模擬信號(hào)或RS485協(xié)議輸出，支持MODBUS RTU通信。

• 防震底座：橡膠減震墊設(shè)計(jì)，降低設(shè)備運(yùn)行振動(dòng)對(duì)超純水系統(tǒng)的干擾。

五、應(yīng)用場(chǎng)景

1. 半導(dǎo)體制造
   用于晶圓濕法清洗工序，防止靜電吸附導(dǎo)致的光刻缺陷。

2. 光伏電池生產(chǎn)
   在太陽(yáng)能電池片制絨環(huán)節(jié)，確保超純水清洗無(wú)微粒殘留。

3. 生物醫(yī)藥
   符合GMP認(rèn)證的注射用水系統(tǒng)，避免藥品生產(chǎn)中的交叉污染。

六、安裝與維護(hù)

• 安裝要求：設(shè)備需水平放置于通風(fēng)環(huán)境，周邊預(yù)留≥50cm維護(hù)空間；氣瓶連接需使用不銹鋼軟管。

• 日常維護(hù)：每季度更換中空纖維膜組件，每年校準(zhǔn)傳感器；氣瓶壓力低于1MPa時(shí)需及時(shí)更換。

• 故障處理：電阻率異常時(shí)優(yōu)先檢查氣路密封性，流量不足時(shí)需清潔進(jìn)水過(guò)濾器。

七、服務(wù)支持

• 認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn)：通過(guò)SEMI S2-0710半導(dǎo)體設(shè)備安全認(rèn)證，符合ISO 14644-1 Class 3潔凈室要求。

• 質(zhì)保條款：整機(jī)質(zhì)保2年，核心部件（傳感器、膜組件）質(zhì)保1年。

• 技術(shù)支持：提供遠(yuǎn)程診斷與現(xiàn)場(chǎng)服務(wù)，緊急響應(yīng)時(shí)間≤4小時(shí)