曝光設(shè)備原理以及應(yīng)用 池田屋實(shí)業(yè)

曝光設(shè)備原理以及應(yīng)用 池田屋實(shí)業(yè)

什么是曝光設(shè)備？

曝光裝置是在半導(dǎo)體、液晶顯示器等制造現(xiàn)場使用的裝置，通過照射光在基板上描繪電路、像素等圖案。

由于它們使用的光線并需要精確控制平臺(tái)等，許多產(chǎn)品體積龐大且成本數(shù)十億美元。曝光工序是半導(dǎo)體和液晶顯示器制造中決定設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)（ CAD數(shù)據(jù)）圖案的工序，因此是極其重要的設(shè)備。每家公司都開發(fā)了多種曝光方法并在自己的設(shè)備中使用它們。

曝光設(shè)備的應(yīng)用

圖1. TFT液晶顯示器的TFT基板側(cè)的制造流程概述

曝光設(shè)備主要用于半導(dǎo)體制造現(xiàn)場和液晶顯示器等平板顯示器（FPD）制造現(xiàn)場。

在半導(dǎo)體制造工藝中，以硅晶片為基板，形成氧化膜，涂敷光致抗蝕劑（感光材料），并通過光掩模用從曝光裝置發(fā)出的強(qiáng)紫外線照射涂敷表面。允許通過蝕刻等去除不需要的部分。這種使用曝光設(shè)備的方法稱為光刻法。

在LCD制造過程中，一般使用玻璃基板，并重復(fù)數(shù)個(gè)循環(huán)的金屬或其他薄膜沉積、光刻和蝕刻。

可以在一個(gè)基板上形成像素電極和開關(guān)元件(TFT元件等)，并且可以在另一基板上形成具有光的三基色(紅、綠和藍(lán))的濾色器。通過將兩個(gè)基板粘合在一起并在其間放置液晶材料，就完成了用于 LCD 顯示器的面板。

選擇曝光設(shè)備時(shí)，需要在購買前與設(shè)備制造商充分討論曝光所用光源的類型和精度、載物臺(tái)的精度等，因?yàn)槠鋬r(jià)格非常昂貴。

曝光設(shè)備原理

我們將解釋曝光設(shè)備的測量原理。曝光設(shè)備由光源、偏光鏡、光掩模、聚光鏡、載物臺(tái)、傳送硅片的機(jī)械手等組成。

鏡頭和光掩模的設(shè)計(jì)精度 ，平臺(tái)的運(yùn)行精度也很高。操作過程中，曝光目標(biāo)精確固定在載物臺(tái)上。在操作中，每次曝光時(shí)載物臺(tái)都會(huì)移動(dòng)，在曝光的物體上創(chuàng)建大量圖案。

從光源發(fā)出短波長的強(qiáng)光，偏光透鏡調(diào)整光的方向，然后照射到光掩模上，光掩模是配置電路圖案的原型。穿過光掩模的光被聚光透鏡聚焦，并在曝光的目標(biāo)上描繪出非常小的電路圖案。

一旦整個(gè)曝光目標(biāo)被曝光，它就會(huì)被機(jī)器人或其他設(shè)備運(yùn)輸。根據(jù)產(chǎn)品的不同，曝光目標(biāo)會(huì)滲透到液體中，有些產(chǎn)品的設(shè)計(jì)旨在實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的曝光。

有關(guān)曝光設(shè)備的其他信息